半导体车间降温新方案：蒸发冷省电空调降温

在某半导体制造基地2600平方米的生产车间内，因精密仪器持续运转产生的热量以及人员作业所产生的湿热负荷相互叠加，致使夏季室内温度常常超过35℃。此种高温环境对光刻、蚀刻等核心工艺的稳定性造成直接影响。传统中央空调系统由于控温精度欠佳、能耗偏高，一直难以满足半导体生产车间±1℃的温控要求。

针对该半导体生产车间的整体控温降温需求，项目工程经理经实地勘测与热负荷计算后，为车间定制了分布式温控解决方案。19台工业蒸发冷省电空调卧式射流机被科学地分布于车间四周墙壁之上。所选设备为低风阻射流送风结构机型，凭借6米/秒的平抛气流实现远距离温度覆盖，有效避免冷风直吹操作岗位而引发不适。机组配备的智能控制系统能够依据实时温度自动调节30% - 100%的输出功率。

在设备运行测试环节，东蓝风专利蒸发冷凝技术彰显出显著优势。循环水于多层波纹湿帘表面形成均匀水膜，当空气穿过时，发生等焓加湿降温现象，该过程可使进风温度降低5 - 8℃。预冷后的空气进入全封闭涡旋压缩系统，借助电子膨胀阀实现0.1℃精度的调节，最后经特殊设计的导流风口以层流形式均匀覆盖生产区域。十分钟后，分布于车间各处的温湿度传感器表明，整体温度从35℃平稳降至24.4℃。

实际运行数据表明，该系统综合能效比达到4.2。设备群组通过变频技术实现智能联动，依据生产节奏动态调整制冷量输出，单日峰值用电量较改造前下降37%。全封闭式机组具备IP54防护等级，可有效阻隔粉尘侵入，其搭载的降噪组件使运行噪声实测值保持在65分贝以下。